在全國人民抗擊新冠肺炎疫情的關鍵時期，新疆眾和股份有限公司一手抓疫情防控，一手抓生產經營。日前，該公司成功開發出了國內領先的全套超高純鋁濺射靶基材生產工藝和技術，成為獨立于歐洲海德魯鋁業公司、日本住友化學體系公司外的第三條完整產業鏈。通過多方驗證，產品全面符合市場要求，成功實現了批量供貨。

　　高純濺射靶材是伴隨著半導體工業發展而興起的產業，因此，集成電路產業則是目前高純濺射靶材的主要應用領域之一。半導體靶材作為制備集成電路的關鍵原材料，也是技術要求最高的靶材，因此人們也將半導體用靶材基材制備稱為材料制備工業王冠上的明珠。

　　長期以來，雖然我國擁有鋁基生產濺射靶材所需的各種基礎礦源，但金屬提純技術卻主要由美國、日本、挪威、法國等國家掌握。國內靶材廠商也僅僅只能通過國外進口獲得高純金屬及基材供應，每年進口量達數千噸，價格較高且不能實現及時交貨。面對國外技術封鎖、國內沒有相應技術基礎的情況下，新疆眾和決定開啟超高純鋁濺射靶基材的研發之路。

　　新疆眾和作為我國鋁電子新材料研制企業，是國內最早規模開發、生產高純鋁的企業，已經積累了30余年的高純鋁研發生產經驗。在新疆眾和針對超高純鋁濺射靶基材研發的10余年中，通過與集成電路相關企業承擔國家專項項目聯合研發，并建設超高純鋁濺射靶基材中試工廠，相繼克服了超高純鋁（5N5）規模生產過程中雜質元素污染、產品表面質量及內部晶粒組織細化控制、氫含量必須小于0.1ppm、晶粒取向控制等一系列難題，最終打通了超高純鋁濺射靶基材的工藝技術，實現了鋁純度可達到99.9995%（5N5），成為國內唯一一家可以規模生產超高純鋁濺射靶基材企業。

　　此外，新疆眾和與東北大學聯合申報的“潔凈、細晶5N5超高純鋁的制備關鍵技術及應用”項目還榮獲了2019年中國有色金屬工業科學技術獎一等獎。

資訊來源：中國有色金屬報

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